規格標準報告会
Outline
開催概要| 開催時刻 | 2025年12月03日(水) 10:15~12:00 |
|---|---|
| タイトル | 規格標準報告会 |
| 会場 | 会議棟102 （定員 100 名） |
| 展示会名 | VACUUM真空展 |
| 無料/有料 | 無料 |
Speaker
スピーカー
工学院大学
関口 敦氏
大亜真空（株）
藤村 壽宏氏
アズビル（株）アドバンスオートメーションカンパニー
吉川 康秀氏
（株）フジ・テクノロジー
鈴木 明氏
CVD、ALDプロセスと真空技術の国際規格動向
特別講演として、ALD、CVDプロセスについて、使用する真空機器などを絡めて興味深いお話をご講演いただきます。また、油拡散ポンプや、真空計校正方法など最近の真空技術に関するISO・JISの制改定状況について報告いたします。
１.「 CVD、ALDプロセスと真空機器」
工学院大学 関口 敦 氏
２.「 油拡散ポンプの性能試験方法について」
大亜真空（株） 藤村 壽宏 氏
３.「 ISO3567真空計校正方法 規格改訂状況報告」
アズビル（株）アドバンスオートメーションカンパニー 吉川 康秀 氏
４.「 規格標準合同検討委員会活動報告 ～最近のISO・JISの制改定等について～」
（株）フジ・テクノロジー 鈴木 明 氏
特別講演として、ALD、CVDプロセスについて、使用する真空機器などを絡めて興味深いお話をご講演いただきます。また、油拡散ポンプや、真空計校正方法など最近の真空技術に関するISO・JISの制改定状況について報告いたします。
１.「 CVD、ALDプロセスと真空機器」
工学院大学 関口 敦 氏
２.「 油拡散ポンプの性能試験方法について」
大亜真空（株） 藤村 壽宏 氏
３.「 ISO3567真空計校正方法 規格改訂状況報告」
アズビル（株）アドバンスオートメーションカンパニー 吉川 康秀 氏
４.「 規格標準合同検討委員会活動報告 ～最近のISO・JISの制改定等について～」
（株）フジ・テクノロジー 鈴木 明 氏
