近年、民間主導のフュージョンエネルギー（核融合）の開発が脚光を浴びており、世界で活発な活動が展開されている。フュージョンは、総じて大きな空間を大排気速度で排気する一方、加速器などのきれいな環境と少々異なる特徴が要求される。スパッタリングなどのプラズマー壁相互作用、耐放射線、耐磁場、大きなガス負荷などである。特にトリチウムを扱うことから、油やエラストマーなどの有機物は使用できない。エネルギーとしての民間のフュージョン開発の進展に伴い、今後新たな真空装置の市場の展開が見込まれる。