2025/12/03(水) 10:30-11:10 セミナー D-01

Inteleg® Ar-0He：OESを用いた真空システムのリーク検出革命

Nova Fabrica Ltd.

Outline

開催概要

開催時刻	2025年12月03日(水) 10:30~11:10
タイトル	Inteleg® Ar-0He：OESを用いた真空システムのリーク検出革命
出展者	Nova Fabrica Ltd.
会場	出展者セミナー会場D （定員 100 名）
展示会名	VACUUM真空展
無料/有料	無料

Speaker

スピーカー

Nova Fabrica Ltd.
CEO Dr Martynas AUDRONIS氏

質量分析計を用いたヘリウムリーク検出は、その高感度、安全性、リアルタイム検出能力により、さまざまな産業で標準的な手法として広く認識されています。しかし、2022年初頭以降、世界のヘリウム市場は「ヘリウム不足4.0」と呼ばれる深刻な課題に直面し、供給制限と価格の急騰（400％以上）を引き起こしました。
米国、欧州連合、中国などの主要経済圏は、供給不足のリスクと半導体製造、医療画像、航空宇宙分野における代替不可能な役割から、ヘリウムを重要素材に分類しています。
ヘリウムリーク検出には利点がある一方で、速度や操作の複雑さ、精度不足、過剰な感度による誤検出などの欠点があります。さらに、必要な装置は複雑かつ高価であり、代替ソリューションの必要性が高まっています。
Nova Fabricaは2019年半ばから、SPOES（Self-Plasma Optical Emission Spectroscopy）を用いた残留ガス分析装置（RGA）を提供しています。これらの装置は、真空システム内の空気、水、アウトガスなどのリークをリアルタイムで検出し、オンラインプロセスモードとスプレーチェックモードの両方で動作します。SPOESはプラズマセルからの光発光を利用し、ヘリウムの代わりに入手容易なアルゴンをリーク検査に使用できます。
SPOES RGAは7.5E-7 Torrから0.75 Torrまでの広い圧力範囲で有効であり、堅牢でコンパクトな設計により、低メンテナンスかつ高信頼性を実現します。
本発表では、SPOESの原理を解説し、アルゴンスプレー法によるリーク検出の利点を紹介します。実例を通じて、操作性、検出速度、リーク位置特定精度の大幅な改善を示し、ヘリウムを使用しないプロセスの可能性を提示します。

Nova Fabrica Ltd.

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出展の見どころ

UAB Nova Fabricaは、革新的なプロセス監視・制御技術を提供する企業です。Inteleg®ブランドの製品を通じて、薄膜製造や自動化分野で高精度な測定と効率化を実現し、産業の品質向上に貢献しています。

電話番号	+370 37 999 994
メール	sales@novafabrica.biz
URL	https://www.novafabrica.biz/