12.03(Wed) 11:30-12:10 Seminar D-02

産業界のニーズに応える真空プラズマ技術

株式会社富士交易

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Event time 2026.12.03(Wed) 11:30~12:10
Title 産業界のニーズに応える真空プラズマ技術
Exhibitor 株式会社富士交易
Venue Seminar Venue D (Capacity 100 people)
Exhibition VACUUM
Free/Paid Free
真空プラズマ技術を必要とする産業界のニーズは、その時々の市場の動向に応じて絶えず変化しています。
競合他社との競争や新製品の開発以外にも、持続可能性や法規制といった要素も影響を及ぼします。
真空プラズマ技術は、世界中のハイテク製造業が利用していますが、この技術はしばしば「最終手段」と位置付けられます。
なぜなら表面改質のために真空環境下で行う処理は大気圧環境下で行う同様の処理よりも遥かに時間やコストといった「労力」がかかるためです。
本講演では、その「労力」を減らすため、真空プラズマをより持続可能かつ効率的にして課題を解決するための多様な技術を紹介します。
講演の前半では、高度にイオン化されたプラズマを活用した先進的なコーティング技術、成膜品質の向上や基板エッチングを強化するための方法に焦点を当てます。
後半では、真空プラズマからの発光利用が、産業用真空プロセスにおける理想的な診断ツールとして活用できる技術を示します。
さらに、この診断手法の効果を高めるためにAIがどのように活用されているかも紹介します。

FUJI KOEKI ,

  • #Vacuum pump
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