09/19(木) 13:30-14:10 セミナー B-10

真空プロセスの『品質』を知る　～チャンバー内を見ませんか？～

堀場エステック

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開催概要
開催時刻 2024年09月19日(木) 13:30~14:10
タイトル 真空プロセスの『品質』を知る　～チャンバー内を見ませんか？～
出演会社 堀場エステック
会場 セミナー会場B（東5ホール）
展示会名 VACUUM真空展
無料/有料 無料
真空チャンバー内の異常検知や装置コンディションの維持・最適化に貢献する“はかる”技術をご紹介いたします。
このような課題をお持ちの方におすすめです。
・製品の品質のばらつきを極小にするために、真空チャンバー内の雰囲気や異常を見える化したい
・エッチングプロセスのエンドポイント検出を高精度化したい
・成膜装置のメンテナンス時期の事前把握やダウンタイムの改善を求めている

株式会社堀場エステック

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堀場エステックは半導体製造プロセスに欠かせない、高度な「はかる」技術を極める挑戦を続けてきました。 この技術力を背景に世界シェア60%※を誇る流体計測制御機器「マスフロコントローラ」をはじめ、 未来の技術革新に貢献する幅広い製品を展開しています。 ※2024年7月時点(当社調べ)

所在地 京都府京都市南区上鳥羽鉾立町11-5
メール info.hstec@jp.horiba.com
URL https://www.horiba.com/jpn/semiconductor/